据悉,本月初日本批准日企提出的向韩国出口光致抗蚀剂的个别许可。这批产品将运往三星电子华城半导体工厂极紫外光微影生产线。分析指出,日本政府近日第二次批准对韩出口光致抗蚀剂,最多可供三星电子使用9个月,极紫外光微影生产线的开工在短时间内不会出现问题。
但尚无一家日企获得高纯度氟化氢、氟聚酰亚胺出口许可。业内人士表示,光致抗蚀剂用于军事目的的可能性极低,日本政府也没有限制出口的理由,但不能说不确定性完全得到消除。
另外,因政府管制阻挠对韩出口,日本材料厂商向三星电子等韩国企业请求配合,并考虑通过第三国出口等各种方案。