三星电子成功将国产氟化氢投入半导体生产

据悉，三星电子近期开始在半导体制程中撤换部分日本氟化氢产品，并成功将替代品投入生产。据了解，部分替代品由韩国国内企业生产。三星电子相关人士3日表示，日产氟化氢的替代品已投入到部分制程中，计划从敏感度较低的工序开始，之后逐渐扩大使用范围。

日本于7月初宣布限制对韩出口半导体3种关键材料。此后，三星电子一直在对国内外产品进行测试，以替代日产氟化氢。但业界预测在产品投入量产前，至少需要3至6个月的测试时间。

此外，正在测试国内外氟化氢产品的SK海力士尚未将替代品投入量产。而LG显示已完成对韩国本土生产的高纯度氟化氢的测试，并开始将其用于OLED面板生产中。三星显示也将于近期完成测试。

高纯度的电子级氟化氢是氟精细化学品的一种，在半导体制造工艺中主要用于去除膜沉积后粘附在化学气相沉积炉内的不必要化学物质、等离子刻蚀、光刻胶图案化之后的蚀刻细槽或孔等流程。