SK海力士位于江苏省无锡市的生产基地。【图片来源 网络】
中美两国间的芯片争霸战或波及至韩企的担心正在变为现实，美国政府日前向同盟国荷兰政府施压，要求荷兰限制向中国企业出售极紫外线（EUV）光刻机，令在中国建有生产基地的韩国企业忐忑不安。
EUV光刻机是生产5nm等先进制程芯片的核心设备，目前由荷兰阿斯麦（ASML）垄断全球市场。在江苏省无锡市建有DRAM内存芯片工厂的SK海力士或将首当其冲受到影响，EUV工艺导入DRAM内存芯片生产成为大势所趋，今年2月，SK海力士与阿斯麦签署4.75万亿韩元的合约，将在5年内从阿斯麦购买约20台EUV光刻机。
在美国政府的大力施压下，荷兰政府从2019年6月以后再未发放向中国出口EUV光刻机的许可证。SK海力士表示，由于尚未计划在中国工厂启用EUV光刻机，因此暂时不会对生产造成影响。目前，SK海力士在京畿道利川市工厂投入3台EUV光刻机，计划在龙仁半导体园区落成后，增加投入EUV光刻机。
但专家预测，由于EUV工艺将成为今后10年芯片生产的主要趋势，从中长期来看，无锡工厂的DRAM芯片生产将不可避免地遭受影响，目前无锡工厂生产的DRAM芯片占SK海力士芯片总产量的30%以上。
仁川大学赵仲彙表示：“投入EUV光刻机工艺可使同样的晶圆集成更多的晶体管，SK海力士不会放弃在中国生产高性能DRAM芯片的目标，美国联手同盟国家对中国展开芯片技术的‘围剿’，如中方无法进口EUV光刻机，将令韩企遭遇损失。”政府一位高级官员称：“最坏的情况不排除SK海力士撤离中国市场的可能性。”
